超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例

氮封裝置由 供氮裝置 和 泄氮裝置 兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組 成；泄氮裝置由內反饋的壓開型微壓調節(jié)閥組成。氮氣壓力一般設為100mmH2O.通過氮封裝置精確控制 。
空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質，而超純水為純的溶劑，對這些雜質的溶解能力很強，一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右，因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。
超純水系統(tǒng)中為何需用氮封水箱？空氣中含有二氧化碳、塵埃等雜質，而超純水為純的溶劑，對這些雜質的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右，因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例處理超純水與空氣接觸的方法：
充氮法：即在水箱水面上充入氮氣使箱內維持適當?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內水面接觸。
薄膜袋法：即在在水箱內設置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。   
浮頂法：即以密度比水輕的輕質材料在水箱內制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會。
在上述三種方法中又以氮封水箱常見，實施簡單，效果好。
氮封水箱的工作原理：
超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內，水箱內氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質，保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。純水設備氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當儲罐內壓力升高至設定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內多余壓力泄放。微壓調節(jié)閥是在儲罐內壓力降低時，開啟閥門，向罐內充注氮氣。因微壓調節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。
一般供氮氣壓力在3×10^5-10×10^5Pa之間,罐頂呼吸閥僅起安全作用，是在主閥失靈,導致罐內壓力過高或過低時，起到安全作用，在正常情況下不工作,泄氮閥安裝在罐頂，口徑一般與進液閥口徑一致,一般泄氮閥的壓力設定點略大于供氮閥的壓力設定點，以免供、泄氮裝置頻繁工作，浪費氮氣、影響設備的使用壽命

1、超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例供氮及泄氮裝置：
在超純水系統(tǒng)中，超純水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式進行，即從水箱上部氣體空間引出單獨的管道，末端浸入水槽液面中，液面高度根據(jù)水箱上部氣體空間允許的最大正壓確定，也可以實現(xiàn)泄氮功能且比較經濟。氮封閥的工作原理主要是通過閥門內部的氮氣壓力來實現(xiàn)閥門的控制和封閉。當?shù)獨膺M入閥門內部時，通過調節(jié)閥門的開度來控制氮氣的流量。當需要關閉閥門時，通過增加氮氣的壓力來使閥門關閉，從而實現(xiàn)對氣體的封閉。

 ZZY-II型帶指揮器自力式壓力調節(jié)閥(簡稱氮封閥)無需外加能源，利用被調介質本身壓力變化而實現(xiàn)自動調節(jié)，使閥后壓力恒定，整機具有動作靈敏、控制壓力波動小，節(jié)約能源。指揮器操作型自力式壓力調節(jié)閥采用動力源與信號點分開檢測的方法，外加可調節(jié)流裝置，使整臺閥門的調節(jié)精度大大提高，減壓比最大可達2000：1。廣泛應用于各種氣體減壓穩(wěn)壓的自動控制場合，特別適合作為氮封的供氮閥使用，具有持續(xù)供氮壓力波動小、反應靈敏等特點。具體來說，氮封閥的工作原理可以分為以下幾個步驟：

1. 氮氣進入閥門：當?shù)獨膺M入閥門時，通過閥門的進氣口進入閥門內部。
2. 控制氮氣流量：通過調節(jié)閥門的開度，可以控制氮氣的流量大小。當閥門開度較大時，氮氣流量較大；當閥門開度較小時，氮氣流量較小。
3. 關閉閥門：當需要關閉閥門時，通過增加氮氣的壓力來使閥門關閉。通過增加氮氣的壓力，可以使閥門內部的密封件緊密貼合，從而實現(xiàn)對氣體的封閉。
微壓調節(jié)閥壓力調節(jié)范圍內選定一設定值 如：3Kpa
泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值，如：8Kpa。
具體壓力的設定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產水量和水箱容量大小來確定選擇。
N2的純度為99.995％以上。
凈化一般處理超純水與空氣接觸的方法：

儲罐氮封閥 閥體部分

結構大類：自力式

閥芯型式：單座平衡式

結構分類：帶指揮器型

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例儲罐氮封閥 規(guī)格與技術參數(shù)

注：表中數(shù)據(jù)為本公司標準配置，可按用戶要求另行選配

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例儲罐氮封閥 連接尺寸及標準

連接方式：法蘭 （標準型） 螺紋、焊接 （須用戶）

法蘭標準：PN16鋼制法蘭按GB/T9113.1 PN40鋼制法蘭按GB/T9113.2

密封面型式：PN16為突面（RF）； PN40為凹凸面，閥體為凹面；

法蘭端面距：GB12221-89

薄膜執(zhí)行機構氣信號接口：內螺紋M16×1.5、M10X1、RC1/4

* 連接方式、閥體法蘭及法蘭端面距可按用戶的標準制造,如：ANSI、DIN、JIS等標準。

注：1、指揮器與主閥可分開安裝

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例安裝及日常維護：

1、安裝：
（1）安裝前，檢查整機零件是否缺損或者松動，對管道應進行清洗，介質流向應與閥體箭頭指向一致。
（2) 為便于現(xiàn)場維修與操作，閥四周應留有適當?shù)目臻g。
（3）閥門應正立垂直安裝在水平管道上，閥體與管道的法蘭連接，要注意軸度，并應安裝在環(huán)境溫度不超過-25~55°C的場合使用。

2、超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例使用
（1）開啟閥前截止閥，使介質緩慢流入閥體
（2)擰開指揮器護罩，松開指揮器調節(jié)螺釘
（3）調節(jié)指揮器主彈簧，使閥后壓力定值
（4）固定指揮器調節(jié)螺釘，裝好護罩，調壓閥即可開始工作
（5）不用時，關閉閥前截止閥
3、超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例維護
（1）拆卸閥門時，要保護好精密零件的表面，拆裝閥座時，要使用專用工具
（2）閥芯與閥座，不管修理或者更換，密封面都必須進行研磨
（3）彈簧若有裂縫跡象，必須更換
（4）密封墊片與0型圈每次檢修時全部更換，膜片根據(jù)檢查結果而定。
（5）閥門平時維護，只有觀察閥后導壓器上的壓力表是否符合設計值要求即可。另外若發(fā)現(xiàn)各連接處有滲漏，可擰緊螺母與螺釘或更換密封墊片與0型圈生產ZZYVP-16B帶指揮器自力式氮封閥（儲灌氮封）蒸汽減壓穩(wěn)壓閥等自力式閥。

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應用案例上例以貯罐1KPa為例

1、ZZDG-16B供氮閥的取壓位置應離貯罐(或緩沖罐)較近。
2、壓力表應置于取壓點不遠處，以免引起不必要的爭議。
3、ZZDG-16B供氮閥閥后管道不宜太小。
ZZYVP-16B帶指揮器自力式氮封閥（儲灌氮封）連接尺寸及標準
法蘭標準：GB9113-2000；
法蘭密封面型式：凸面；
信號接口：內螺紋M16×1.5；
閥體法蘭及法蘭端面距離可以按用戶的標準制造。如ANSI、JIS、JPI等標準